對位精度

高精度的機體結構，可作全斷及半斷加工。上下沖壓行程採用四柱高剛性導柱。自動調刀機構，依設定自動調整，精度0.01mm。高速多軸伺服控制系統，效能極高。,本发明的有益效果为，本发明可对高对位精度镭射直接成像设备的重复对位精度与层间对位精度进行检测，具备自身影响转移的特征且精度高最小误差可达到1um，另外，利用本发明 ...,機械對位乃使用晶圓本身的幾何特徵尺寸作為粗定位依據，再以治具本身的對位設計提升對位精度...

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高精度的機體結構，可作全斷及半斷加工。 上下沖壓行程採用四柱高剛性導柱。 自動調刀機構，依設定自動調整，精度0.01mm。 高速多軸伺服控制系統，效能極高。

CN103529659A

本发明的有益效果为，本发明可对高对位精度镭射直接成像设备的重复对位精度与层间对位精度进行检测，具备自身影响转移的特征且精度高最小误差可达到1um，另外，利用本发明 ...

半導體設備精密對位技術

機械對位乃使用晶圓本身的幾何特徵尺寸作為粗定位依據，再以治具本身的對位設計提升對位精度，依據SEMI Standard於12吋晶圓的製程要求，晶圓接合的對位誤差必須小於±50 μm ...

微影製程對位精度之即時調整系統

微影製程中，曝光機在執行基板粗對位(coarse alignment)時的誤差精度準確與否，將影響生產的產量及順暢性。粗對位誤差越小越好，不佳的誤差將導致對位時間過久， ...

微影製程對位精度之即時調整系統= Real

微影製程中，曝光機在執行基板粗對位(coarse alignment)時的誤差精度準確與否，將影響生產的產量及順暢性。粗對位誤差越小越好，不佳的誤差將導致對位時間過久， ...

數位影像式精密模具對位技術開發

... 對位系統方能達成。為達成兩片不同. 材質模具對位，本文透過兩套影像系統去辨識兩塊模具各自位姿，再藉由高精度電控平台完. 成對位。為達到高對位精度需求，本文採用高 ...

羅昇視覺對位系統精度高- 產業特刊

2014年8月27日 — 羅昇表示，今展出的「視覺對位系統」特色與優勢：可搭配不同光學鏡頭配件，最高可達到2um高精度對位；系統處理速度50ms以內；支援多種標靶樣式定位，如圓 ...

視覺自動對位系統

... 對位平台運轉，讓產品到之前設定的基準位置上，以達到快速、高精度對位。 通過對定位參照點的識別計算出被測物體在XYθ方向的偏移量，並自動控制移動平台反向移動相應的 ...

高精度無光罩微影技術之對位系統的開發與應用

論文摘要高精度的無光罩微影技術已經廣泛應用於黃光微影製程，其技術重點除了最小線寬/線距的曝光能力外，控制曝光位置的對位能力同樣是極其重要；只有在擁有精準的對位 ...

高速、高精度對位技術

在有μm 單位層級精度要求的機器中，僅靠一次對位可能無法減小誤差。此時，需實施多次對位，造成大幅增加時間成本。 歐姆龍建議採用排除工件停止時間(處理時間增加的主因) ...